万业企业披露半年报：集成电路设备在手订单近11亿元 布局多品类前道设备赛道

8月25日晚间，万业企业（600641.SH）披露2022年半年报。报告期内，公司集成电路业务持续放量，集成电路设备制造业务收入同比增长150.86%。2022年至今获得集成电路设备在手订单近11亿元，布局多品类前道设备赛道。

近年来，万业企业一直持续支持国产设备的创新与研发，通过自主研发与外延式并购双轮驱动，积极战略布局设备与材料赛道。公司旗下凯世通是国内领先的全领域离子注入机研发制造企业，业务覆盖集成电路、光伏、AMOLED等领域离子注入机设备；旗下的嘉芯半导体业务覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多个核心前道设备品类；此外，万业企业作为第一大股东的参股子公司浙江镨芯（Compart Systems）为全球领先的半导体设备零部件供应商，主攻集成电路流量控制领域精密零组件。

集成电路业务持续放量 公司设备采购订单快速增长

2022年至今，万业企业旗下凯世通及嘉芯半导体合计获得设备采购订单近11亿元。公司经营的设备品类覆盖全领域离子注入机、刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积等多道核心前道设备。

据国际半导体产业协会(SEMI)报告估计，2021年全球半导体制造设备销售额同比增加44%达到1026亿美元的历史新高，预计到2022年将扩大到1140亿美元。另据集微咨询预计，中国大陆未来5年将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160万片，半导体设备需求有望长期高速增长。

在此机遇下，万业企业积极拓展市场开发客户，推进设备在多种工艺及制程节点的应用，公司业务体系及产品线整合所展现的协同效应正在持续扩大。

凯世通系全领域离子注入机供应商 迈入从1到N的高速成长阶段

万业企业旗下凯世通在离子注入机领域拥有多年迭代积累的深厚技术优势，近年来其自主研发的低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，均已相继通过主流12英寸集成电路芯片制造厂的验证及验收，打造了核心设备产品护城河。

图：凯世通低能大束流离子注入机 iStellar-500

2022年上半年，凯世通设备产品的综合表现持续提升，获得3家集成电路制造厂客户的离子注入机采购订单，其中多款离子注入机设备产品为客户的重复采购和批量订单。累计新增设备订单超7.5亿元。

其中包括2022年一季度，凯世通获得一家重要客户的批量订单，含12英寸低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，并与另一家集成电路制造厂签订了1台低能大束流离子注入机订单。2022年二季度，凯世通获得第三家集成电路制造厂的3台低能大束流离子注入机订单。

在交付能力上，凯世通已跻身国内主流客户认可的批量采购战略供应商。2022年4月，凯世通成功向重要客户交付了批量订单中的首批多套低能大束流离子注入机，后续按期实现稳定出货及交付。同时，凯世通引进多名在芯片制造厂工作多年的资深离子注入工艺专家与研发团队，进一步提升对客户需求的及时响应和服务品质。

当前，万业企业旗下凯世通与核心部件供应商通过建立良好的合作关系，构建了稳定的供应商合作体系，在国内离子注入行业领域内占据领先地位，从0-1的阶段迈入了1-N的高速成长阶段。

嘉芯半导体设备多品类突破 “1+N”设备平台化效应逐步凸显

目前，集成电路晶圆厂正迎来新一轮扩产潮。集成电路设备成为市场的持续增长点，设备制造商迎来加速成长契机。万业企业正以“1+N”设备多元化的发展策略逐步扩大市场规模。

2021年第四季度正式运营后，万业企业旗下嘉芯半导体取得了薄膜沉积、热处理、刻蚀等多品类设备订单，累计新增订单金额超3.4亿元，包括快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积及二氧化硅等离子薄膜沉积等多种设备。据Gartner统计，2021年全球刻蚀设备、薄膜沉积和热处理设备分别占晶圆制造设备价值量约21.59%、19.19%和3%。

图：嘉芯半导体设备科技有限公司

嘉芯半导体自2021年成立后即租用厂房进行设备的研发和制造，产品将覆盖刻蚀机、快速热处理/褪火、薄膜沉积等领域的8寸及12寸设备，同年竞得浙江省嘉善县109亩国有建设用地使用权。目前嘉芯半导体研发及制造基地正在建造中，届时产能释放后，将持续推动公司“1+N”集成电路设备平台的高质量发展。

“外延并购+产业整合” 装备材料平台化布局再上新台阶

万业企业参股子公司浙江镨芯旗下Compart Systems是全球少数可以完成集成电路领域零组件精密加工全部环节的公司之一，提供从零组件原材料到零组件组装一站式加工服务，技术实力雄厚，长期服务多家全球知名集成电路设备客户且供应关系稳定保持。

资料显示，在半导体设备制造中，关键的零部件大致可分为5个类别，包括真空泵，RF电源，硅片传送，气体与液体控制等，Compart就是其中最为核心的气体流量控制系统供应商之一。Compart Systems致力于持续开拓国内市场，报告期内其相关产品进入另一全球顶级半导体设备公司的供应链，并有望于下半年释放更多订单。2022年上半年，浙江镨芯营业收入为5.04亿元，同比增长13.83%。

图：Compart Systems马来西亚Alpha工厂

目前，万业企业从领先的全领域离子注入机全面扩展至更多品类的前道设备赛道，半导体装备平台“1+N”战略逐步显现，配合上游设备零部件领域的战略布局，将不断发挥生态协同势能，为增强国内半导体设备产业链的稳定性和竞争力作出贡献。

随着国产化的深入，本土设备厂商将迎来广阔成长空间。万业企业致力于成为推动集成电路产业高质量发展的新引擎，通过加大研发投入，不断拓宽设备品类，推进与客户战略合作，加快产品交付、逐步释放经营业绩，迎接高速成长期，紧抓集成电路国产化的黄金浪潮，助力产业跃升发展。

来源：发布易