据《科创板日报》1月20日讯,ASML透露,2020年DUV(深紫外光)光刻机预订量创历史新高(73亿欧元)。在DUV光刻业务领域,首批NXT 2050i系统的生产周期长达120天,但截至去年年底,最后五套系统的生产中,已将生产周期缩短到60天。
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