至纯科技：三季度半导体设备产能正在按扩产计划逐步提高中

10月10日，至纯科技(603690.CN)在上证e互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台。晶圆再生业务今年度将产生部分收入。