南大光电：公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺验证

3月21日，南大光电(300346.SZ)在互动平台表示，公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证，产品质检主要依靠公司购置的光刻机及其他辅助检测设备。